环保号

美国picarroPicarro宣布推出完全优化的气体分子污染（AMC）监测系统——Picarro SAM，该系统专为半导体晶圆厂设计，可实现高灵敏度、实时在线的AMC监测，助力提升晶圆产量。系统组成与技术核心基于CRDS的传感器：Picarro SAM系统采用业界领先的光腔衰荡光谱（CRDS）技术的传感器，该技术已集成至最新采样系统中。技术现状高精度探测技术：温室气体监...